LPMS CVD05
緊湊型側(cè)式真空氣相沉積設(shè)備
真空氣相沉積設(shè)備是一種用於電子產(chǎn)品防水保護(hù)的鍍膜設(shè)備。工作時把含有構(gòu)成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質(zhì)氣體經(jīng)過昇華、熱解後進(jìn)入放置產(chǎn)品的真空反應(yīng)室，借助空間氣相化學(xué)反應(yīng), 在產(chǎn)品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，無應(yīng)力、優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧塗層材料薄膜塗層
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